면저항 (ohm/sq = Ω/□ = Sheet resistance)은 ohm/sq 단위로 표시됩니다.
sq는 ㅁ로도 표시되며, 무한대의 면적으로 해석하는 것이 일반적입니다.
선저항은 두개의 probe로 임의의 거리에 대한 저항을 측정하지만, 면저항의 경우에는 동일한 간격의 4개탐침으로 측정합니다. 이때 쓰이는 Probe가 4 point probe이고, 일반적으로 탐침은 1mm간격으로 일렬구성된 probe를 사용하며, 4개의 탐침으로 전류와 전압을 측정하여, 저항값을 구한 후, 면저항 단위인 ohm/sq로 계산하기 위해 보정계수(C.F)를 적용합니다.
면저항 Data는 Wafer, LCD, 태양전지(Solar cell), 연료전지, OLED, CNT 등의 벌크 및 박막의 전도성을 검사하기 위하여 쓰입니다.
4-point probe head는 세계적으로 영국JANDEL(쟌델)社의 Probe Head가 타사 제품에 비해 고가이지만, 내구성과 안정성 및 정확성에 있어서 인정받고 있습니다.
추가적인 내용은 (주)에이아이티의 홈페이지( www.fpp.co.kr )의 자료실(FAQ)을 참조해 주시기 바랍니다.